解决先进工艺MOSFET的测量问题的最好办法

日期:2018-03-16 / 人气: / 来源:

[概要说明]解决先进工艺MOSFET的测量问题的最好办法
    在大家对摩尔定律的质疑声中,工艺制程已经推进到了7nm,未来的5nm和3nm也都在固化之中。但我们应该见到,无论对于晶圆厂、EDA工具提供商或者测试厂来说,挑战日益严峻,尤其对于测试方面。

 

    首先是电子阱测试的问题。

 

    电子阱存在于MOSFET的沟道之中,随着工艺的演进,器件MOSFET的沟道变得越来越短,这就会影响器件稳定性以及器件间的失配。为了能测量出器件中电子阱的数量,传统方法是在直流情况下测试器件的随机电报噪声,但在先进工艺(如16nm),这样的测量就显得有些力不从心。

 

    另一方面,MOSFET的迁移率(迁移率是MOSFET性能的重要指标)的测量也成为从业者关注的另一个重要问题。

 

    传统的慢速方法无法捕捉到电荷阱和栅极漏电流等瞬态效应的影响,而且在测试过程中需要改变MOSFET的漏端电压并有一次更换线缆的动作,进而造成误差。

 

    为此,供应商们与时俱进的推出了新的测试方案,帮助其客户解决问题。

 

    例如面向电子阱的问题,泰克采用了栅极加交流电的情况下去测随机电报噪声的方法,从而提高电子阱的测试准确率和测试灵敏范围。
 

    至于迁移率测量,泰克则采用(Ultra-Fast Single Pulse)UFSP的方法仅需一次快速打一个很短的脉冲(几微秒)即可测出迁移率,避免了传统方法的几个问题。



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